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                      量化檢測課堂|特氣管路五項檢測詳解

                      2021-09-26 16:15:22

                      特氣管路五項檢測包括哪些測試?在測試過程中有哪些技巧和注意事項?量化檢測課堂帶你一起了解:設備主管路主要是通各種特種氣體,需做測試項目有:保壓測試、氦檢測試、水分測試、氧分測試、顆粒測試。


                      保壓測試


                      2.1測試目的

                      確保管路輸送系統沒有明顯的泄漏,以便對管路系統進行氦測漏


                      2.2測試規則

                      測試時間為24小時,測試壓力不能小于設計壓力的1.15倍,經溫度糾正后的允許壓力降為不大于開始壓力的1%.壓力變化方程式(考慮到溫度影響)


                      2.3測試方法

                      1.     將氣源用金屬管道連接至系統入口端。

                      2.     慢慢打開隔離閥。

                      3.     每次增加 10 PSIG,緩慢的將系統壓力增加到最終測試壓力的50% 。觀察壓力表10 到15 分鐘,看系統有無泄漏。如壓力表顯示系統有泄漏,則減小系統壓力并處理漏點。重復上述操作。

                      4.     確認系統無任何泄漏后,慢慢的增加系統壓力到測試值,斷開氣源,記錄好溫度、時間、壓力值,24H后觀察壓力是否有壓降。

                      5.     在系統的壓力穩定并顯示無任何壓降后,在壓力測試報告中記錄測試開始時的溫度、時間和壓力值。


                      2.4測試結束后注意事項

                      1.     在測試報告中記錄下測試的參數。將系統的壓力釋放,在進行氦測漏之前用高純N2對系統進行持續的吹掃0.5H。

                      2.     將壓力測試用的管線拆除,用堵頭來密封系統并使用新的墊片。

                      3.     如果由溫度所引起的壓力下降超過了要求,通過關閉測試范圍內的系統閥門來  開所有的潛在漏點,觀察各個不同隔離部分的壓降。

                      4.     在將漏點隔離和修復之后,重復上述測試步驟。

                      3.      氦質譜檢漏測試


                      氦檢測試

                      3.1測試目的

                      利用氦質譜儀感測漏入系統中的微量的氦氣來測漏,并根據檢測到的氦氣的量來確定漏率的大小。                               


                      3.2相關名詞及解釋

                      真空度:處于真空狀態下的氣體稀薄程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。


                      3.3測試前準備

                      1.     系統成功的的通過了保壓檢漏。

                      2.     確認系統的所有部件都能承受得住真空狀態而不損壞。

                      3.     先對測漏儀本身閥組及連接管路進行漏率檢測。

                      4.     測漏儀與系統管路接通前,要將被測系統內的氣體釋放掉。

                      5.     緩緩打開測漏儀入口處的閥門,將測漏儀與管路系統隔離閥之間的管路抽真空,直至測漏儀顯示的背景漏率低于   1× 10-9 mbar.l/s。

                      6.     對連接管路上所有的焊道及機械連接處進行氦氣噴吹。


                      3.4測試方法

                      1.  確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。

                      2.  確認系統中的壓力為0,如果系統中還有正壓,要先將系統中的氣體放掉。  

                      3.  緩緩打開檢漏儀入口處的閥門,開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作,直至達到可以檢測的狀態。

                      4.  記錄下檢漏儀的背景氦漏率,該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后,才可以進行噴吹工作。

                      5.  從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測,將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處,使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間,確認沒有泄漏后,進行下一個焊道或連接處的檢測,直到最后一個焊道或連接處。

                      6.  如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象,待到檢漏儀讀值恢復正常后,重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏,如果確認不是該焊道或連接處有漏,要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處,直到找到漏點為止。

                      7.  直至所有的接點都被檢測到,檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后,繼續觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右,確認讀值沒有異常后才可以將系統與儀器之間分離開。

                      8.  如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s,說明該系統的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結果記錄在檢測報告里了。

                      9.  將檢漏儀與系統分開。


                      4.水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)


                      4.1測試目的和測試標準


                      水分檢測的目的主要是為了避免管道內水含量過高時,會發生化學反應,對制程造成影響。氧分檢測的目的主要是為了避免管道內氧含量過高時,會發生化學反應,對制程造成影響。例如,芯片在生產過程中,原本大氣中O2會和Si產生化學反應:O2+Si=SiO2,為原始的氧化成,如果管道內的氧含量過高,原始的氧化層會超出原本已經計算好的厚度,如此會嚴重影響接下來各階段的制程。顆粒檢測主要是檢測管道內微粒子的粒徑大小和數量多少。


                      4.2測試方法

                      1.     將吹掃氣源連接到系統進氣端,所有閥門處于開啟狀態。

                      2.     連續吹掃2H后用金屬管路連接系統出氣端至測試儀器進氣端。使氣體通入儀器,10分鐘后打開電源,設置儀器各項參數后開始測試。

                      3.     待測試數據達到標準要求后,記錄測試數據,關閉進氣端和出氣端閥門,使管道內保持正壓。

                      4.     測試儀器斷電,儀器與設備分離。


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